Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі «нөлдік ақау» талаптарының күшеюі аясында, Lijie 9 дюймдік төмен хлорлы нитрилді қолғаптары ерекше төмен иондық қалдықтары мен жоғары тазалық көрсеткіштерінің арқасында пластиналарды өңдеу және чиптерді орау кезеңдерінде таптырмас қорғаныс құралына айналды. Арнайы өңдеу арқылы қолғаптың хлор мөлшері ≤50ppm деңгейінде қатаң бақыланады, бұл салалық 100ppm стандартынан айтарлықтай асып түседі. Бұл пластина беттеріндегі хлорид иондарының миграциясынан туындайтын коррозия қаупін тиімді түрде болдырмайды, жартылай өткізгіштер өндірісінің микроскопиялық ластануды бақылауға қойылатын қатаң талаптарына сәйкес келеді.
Литография процестері кезінде қолғаптың тазалығы фоторезист жабынының дәлдігі мен экспозиция нәтижелеріне тікелей әсер етеді. 100 000 класты таза бөлмелерде өндірілген және лазерлік шаңды кетіруге ұшыраған бұл өнім беткі бөлшектердің шығарындысын шаршы дюймге 0,2 бөлшектерден төмен көрсетеді - бұл ISO 3 класты таза бөлме стандарттарына сәйкес келеді. Бұл микробөлшектердің пластина беттеріне жабысуын тиімді түрде болдырмайды, осылайша литография ақауларын азайтады. 9 дюймдік ұзындықтағы дизайн білектен алақанға дейін толық жабуды қамтамасыз етеді. Серпімді манжет құрылымымен біріктірілген, ол жең саңылауында шаңның төгілуін тиімді түрде болдырмай, жұмыс икемділігін қамтамасыз етеді, литография процестерінде динамикалық таза ортаға қойылатын қатаң талаптарға сай келеді.
Ою және ион имплантациясы сияқты жоғары коррозиялық реагенттермен байланысты процестер кезінде бұл қолғаптар ерекше химиялық төзімділік көрсетеді. Фторсутек қышқылы және фосфор қышқылы сияқты кең таралған жартылай өткізгіш реагенттерде 24 сағаттық батыру сынағынан кейін олар ісінбейді немесе жарылмайды, салмақтың өзгеру жылдамдығы 0,8%-дан төмен. Бұл операторлар үшін сенімді қол қорғанысын қамтамасыз етеді, сонымен қатар қолғаптың зақымдануынан реагенттің ластану қаупін жояды. Саусақ ұштарында 0,02 мм лазермен ойылған тайғанауға қарсы құрылымдар бар, бұл 12 дюймдік пластиналарды ұстаған кезде үйкелісті 35%-ға арттырады және пластинаның сырғанау қаупін 60%-ға азайтады. Бұл қорғаныс қауіпсіздігі мен жұмыс тұрақтылығы арасындағы тепе-теңдікке қол жеткізеді.
Қазіргі уақытта SEMI F57 стандарттары бойынша сертификатталған бұл қолғаптар SMIC және Hua Hong Semiconductor сияқты жетекші құю зауыттарындағы жаппай өндіріс желілерінде қолданылады. Олар қолмен жанасудан туындайтын пластина сынықтарының мөлшерін 38%-ға азайтады, бұл таза бөлмені қорғау мен пайдалану тиімділігін теңестіруге арналған жартылай өткізгіштер өндірісінде тамаша таңдау болып табылады.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 11 қараша