Жартылай өткізгіш пластина өндірісінде литография процесі чиптің өнімділігін анықтайтын маңызды, дәлдікке бағытталған қадам болып табылады. Пластинаны жасау процесіндегі «экспозиция мен бейнелеудің өзегі» ретінде литография бүкіл жұмыс процесін қамтиды — айналдыру жабынын, экспозицияны, әзірлеуді, оюды және ылғалды тазалауды қоса алғанда — және қоршаған орта тазалығына, қоспаларды бақылауға, электростатикалық қорғанысқа және химиялық төзімділікке өте қатаң талаптар қояды. Микрон деңгейіндегі шаң бөлшектері, іздік иондардың миграциясы және өтпелі электростатикалық разрядтар фоторезист ақауларын, үлгінің сәйкессіздігін, пластинаның тотығуын және тізбектердегі микроқысқа тұйықталуды тікелей тудыруы мүмкін, бұл тұтас пластиналардың сынуына және өндірістің үлкен шығындарына әкеледі. Көптеген FAB-тар фотолитография процестерінің өнімділігін арттыру үшін күреседі. Жабдықтар, процестер және қоршаған орта параметрлері тәртіпте болғанның өзінде, кедергі көбінесе маңызды емес қолды қорғау шығын материалдарында болады. Кәдімгі 1000 класты немесе өнеркәсіптік деңгейдегі таза бөлме қолғаптары фотолитография процесінің өте жоғары стандарттарына мүлдем жарамсыз.
Неліктен литография процесінде қарапайым таза бөлме қолғаптарын пайдалануға қатаң тыйым салынады?
Ұнтақ қалдығы фоторезист ластануын тудырады
Шамадан тыс күкірт пен хлорид иондары пластиналардағы тізбектерді коррозияға ұшыратады
Статикалық электр тогы бақылаудан шығып, дәл фотолитографиялық пластинаның істен шығуына себеп болды
Өндіріс процесінде бөгде заттардың ақауларына әкелетін қабыршақтану және төгілу
LjieClean 100 класты ұнтақсыз нитрилді қолғаптар
Suzhou Leader жартылай өткізгіш пластина өндірісі секторына және литография процесіндегі қиындықтарды шешуге баса назар аудара отырып, біз пластина литография процесінің өндірістік талаптарына толық сәйкес келетін мамандандырылған 100 класты ұнтақсыз, аз газ шығаратын нитрилді қолғаптарды әзірледік, бұл оларды көптеген фабрикалар мен пластина қаптамалары мен сынақ компаниялары үшін таңдаулы қорғаныс шығын материалдарына айналдырады.
1. Дихлорид негізіндегі ұнтақсыз процесс: фотолитография процесінде ұнтақпен ластану жоқ
Жартылай өткізгіштерге арналған хлорлау тазарту процесін пайдалана отырып, бұл әдіс бүкіл процесте тальк, жүгері крахмалы немесе силикон майы сияқты қосалқы қоспаларды қосуды қажет етпейді. Ол процестің өзінде тегіс жағуды қамтамасыз етеді, фоторезистті ластайтын ұнтақ бөлшектері мен силикон майының қалдықтарын көзден жояды, осылайша фотолитография процесіндегі бөгде бөлшектердің ақауларын толығымен жояды.
2 Көп сатылы ультра таза сумен шаю күкірттің, хлордың және иондардың төмен құрамына қол жеткізеді
Жоғары таза сумен бірнеше рет терең шаю циклі арқылы шикізат қоспалары мен беткі қалдықтар жойылады. Күкірттің, хлордың және еритін металл иондарының мөлшері қатаң бақыланады, бұл төмен NVR (ұшпайтын қалдық) пайда болуына әкеледі. Бұл пластинаның тотығуына, жабын коррозиясына және ою ақауларына жол бермейді, бұл қолғаптарды 8 және 12 дюймдік пластиналарға арналған талап етілетін литография процестеріне толық сәйкес келеді.
Электростатикалық сезімтал пластиналарды қорғау үшін қалыпқа енгізілген модификацияланған ESD қорғанысы 3
Уақытша бүріккіш жабындары бар коммерциялық қолжетімді антистатикалық қолғаптардан айырмашылығы, Gonars нитрил негізіндегі материалда қалыпқа салынған антистатикалық модификация технологиясын қолданады. Бұл тұрақты және біркелкі беттік кедергіні қамтамасыз етеді, фоторезисттің бұзылуына және дәлдіктегі пластина тізбектерінің зақымдалуына әкелуі мүмкін статикалық жиналудың алдын алу үшін бүкіл процесс бойы статикалық электрді үздіксіз таратады. Ол экспозиция және әзірлеу сияқты негізгі литография кезеңдеріне жарамды.
4 Икемді және ыңғайлы, микрон деңгейіндегі дәлдік операцияларына жарамды
Қолғап материалы икемді және қолдың пішініне сәйкес келеді. Саусақ ұштарында таймайтын текстуралы дизайнмен ерекшеленеді, ол жеңіл және көлемді емес, бұл оны фотолитографиялық пластиналарды өңдеу, жабдықты жөндеу және дәл тексеру сияқты дәл операциялар үшін өте қолайлы етеді. Ол шектеусіз қозғалысты қамтамасыз етеді және тайып кетудің алдын алады, қолмен жұмыс істеу кезінде кездейсоқ соққылардан туындаған зақымды тиімді түрде азайтады. Сонымен қатар, ол фотолитография еріткіштеріне және жұмсақ қышқылдар мен сілтілерге төзімді және ұзақ уақыт пайдалану кезінде де қартаюсыз немесе жыртылмай берік болып қалады.
5
✅ Екі қабатты вакууммен тығыздалған қаптама екінші реттік ластануды жояды
Дайын өнімдер 100-сыныпты тазалау бөлмесінде бүкіл процесс бойы екі қабатты вакуумды тығыздалған қаптаманы пайдаланып қапталады, бұл оларды сақтау және тасымалдау кезінде шаң мен ылғалдан толығымен оқшаулайды. Қаптаманы ашқан кезде қайталама ластану болмайды, бұл оларды 100-сыныпты литографиялық тазалау бөлмелерінде бірден пайдалануға мүмкіндік береді.
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 23 шілде